作为一款缺陷形貌分析的精细测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款精细的大型样品原子力显微镜，凭借着优越的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

分析功能
Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。精细度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，非接触扫描模式让探针更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间。

即便是接触原子显微镜的工程师也易于操作
ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

样品侧壁三维结构测量

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力。

对样品和基片进行表面光洁度测量
表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来失效分析和质量保证。

高分辨率电子扫描模式

QuickStep SCM
扫描式电容显微镜

PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜

多种技术帮助顾客减少测试时间
 CrN样品所做的针尖磨损实验

通过对比重复扫描情况下探针的形状变化，您可以轻易看到Park的非接触模式的优势所在。

借助非接触模式，探针在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
没有压电蠕变误差的样品表面形貌
超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。
在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。
没有前沿或后沿过冲现象
终身无需校准，减少设备维护成本

Park NX系列原子力显微镜

传统的原子力显微镜

Park NX20技术参数
扫描器
Z扫描器
柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz带宽)

 
XY扫描器
闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选 50 µm × 50 µm)

 
驱动台
Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 150 mm x 150 mm (Motorized)

 
样品架
样品尺寸 : 基本配置开放空间为 150 mm x 150 mm,厚度值为 20 mm (可选，可扩展到 200 mm x 200 mm)
样品重量 : < 500 g

 
光学
10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)

 
软件
SmartScan™
AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的使用和扫描控制

XEI
AFM数据分析软件

 
电子
集成功能
4通道数字锁相放大器
数据Q控制

信号处理
ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

连接外部信号
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压
 
AFM模式
(*可选项)
标准成像
非接触式原子力显微镜
PinPoint™ 原子力显微镜
接触式原子力显微镜
横向力显微镜(LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜

 
力测量
力-距离(F/d)光谱
力谱成像

 
介电/压电性能
静电力显微镜 (EFM)
动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)
压电力显微镜 (PFM)
高压压电力显微镜*

 
机械性能
力调制显微镜 (FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*

 
磁学性能*
磁力显微镜 (MFM)
可调制磁力显微镜

电性能
导电原子力显微镜 (C-AFM)*
IV 谱线*
扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)
扫描电容显微镜 (SCM)*
扫描电阻显微镜 (SSRM)*
扫描隧道显微镜 (STM)*
光电流测绘 (PCM)*

化学性能*
功能化探针的化学力显微镜
电化学显微镜 (EC-AFM)

选项

定制您原子力显微镜

自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量

Park的自动化控制软件，可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，从而为您节省大量宝贵时间。

倾斜样品倾角夹具，可帮助您进行样品侧壁成像。

NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测，还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。

温度稳定的隔音罩

创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡
NX20具有主动隔振功能。

集成编码器的自动载台

• XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。
• Z马达运动的分辨率为0.1 µm，分辨率为1 µm。

样品盘

• 用于电气测量的专用小样品架
• 用于固定晶圆的真空槽

温度控制

· 温控台 1:  -25 °C to +170 °C
·温控台 2:  Ambient to +250 °C
· 温控台 3:  Ambient to +600 °C