新一代的高温纳米压痕测试仪

• 环境条件下至低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内至低热漂移 (< 3 nm/min)。
• 至高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和至低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，
• 可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
• 高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至至低。
• 独特的加热控制系统（3 项待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，
• 以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。
• 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准