产品特性：日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000具有准确性高、稳定性和重复性.
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日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000具有准确性高、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不加τ梅较虻男枰峁┝硕嘀挚裳∨渲茫ü∨淙上窀郊鬃盎箍梢约蟮乩┏湟瞧鞯墓δ堋Ⅻbr />
日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000主要特点
1. 具有良的台阶高度重复性5Å (1σ)和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）；
2. 高分辨率，纵轴大分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可准确测量纳米级至几百微米级台阶高度；
3. 高直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等；
4. 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料；
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型号 |
ET4000M |
ET4000A |
ET4000L |
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大样品尺寸 |
300x300mm |
210x210mm |
300x400mm |
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样品台 |
尺寸 |
320x320mm |
220x220mm |
540x400mm |
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X轴倾斜度 |
±1mm/150mm(机动倾斜） |
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Y轴倾斜度 |
—— |
±1mm/150mm(机动倾斜） |
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承重 |
2Kg |
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检出器 |
力 |
0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可调节 |
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范围 |
100μm |
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驱动 |
LVDT直动式（差动变压器） |
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触针 |
ET-1479(R2μm) |
ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) |
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X轴 |
大测长 |
100mm |
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直线度 |
0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) |
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速度 |
0.005-2mm/s(定位速度10mm/s） |
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重复性 |
±5μm（定位） |
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Y轴 |
大测长 |
—— |
150mm |
400mm |
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直线度 |
—— |
5μm/150mm |
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重复性 |
—— |
±5μm（定位） |
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Z轴 |
大测长 |
52mm |
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放大倍数 |
垂直 |
50-2000000 |
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水平 |
1-10000 |
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3D |
—— |
可选择 |
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θ轴 |
—— |
可选择 |
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辅助功能 |
教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 |
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监控系统 |
摄像装置 |
1/2 inch CCD (768x494像素） |
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监视装置 |
视频捕捉板 |
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应用 |
成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 |
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重复性 |
1σ0.5nm |
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电源 |
AC100V 800VA |
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外观尺寸 |
W660xD580xH660mm 200Kg |
W930xD930xH790mm 380Kg |
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为用户提供详尽的仪器用途、重要参数的说明，还为客户提供不同品牌产品间的性能比较，给用户最中肯的购买建议。
安装验收合格后整机保修壹年。在质保期内，我们负责为用户的设备提供免费维护、保养和免费更换损坏的零部件；
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