TESCAN扫描电镜S9000X Xe Plasma FIB-SEM

产品特性：TESCAN S9000X是一款氙（Xe）等离子分辨双束FIB-SEM系统,配置新颖的TriglavTM 分辨率电子镜筒以及新款的iFIB+TM离子镜筒,它的分辨表征能力和样品制备效率,足以应对半导体和材料表征中具挑战性的物理失效分析工作,实现大体积三维样品特性分析.

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产品特点技术规格行业标准

S9000X Xe Plasma FIB-SEM主要优势：

• 新的 Essence 软件的用户界面可实现更轻松、更快速、更流畅的操作，包括碰撞模型和可定制的面向应用流程的布局；

• 新一代 Triglav™ UHR SEM 镜筒具有很好的分辨率，优化的镜筒内探测器系统在低束流能量下具有优越的性能；

• 轴向探测器通过能量过滤器，可以接收不同能量的电子信号，增强表面敏感性；

• 新型 iFIB+™ Xe 等离子 FIB 镜筒具有很好的视野，可实现很大面积的截面加工；

• 新一代 SEM 镜筒内探测器结合高溅射率 FIB，实现超快三维微分析；

• 气体增强腐蚀和加工工艺，尤为适合封装和 IC 去层应用；

• 高精度压电驱动光阑，可实现 FIB 预设值之间的快速切换；

• 新一代 FIB 镜筒具有 30 个光阑，可延长使用寿命，并很大限度地减少维护成本；

• 半自动离子束斑优化向导，可轻松选择 FIB 铣削条件；

• 专用的面向工作流程的 SW 模块、向导和工艺，可实现吞吐量和易用性。

为用户提供详尽的仪器用途、重要参数的说明，还为客户提供不同品牌产品间的性能比较，给用户最中肯的购买建议。