用于故障分析与敏感材料研究的高真空原子力显微镜

Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。

Park NX-Hivac使得真空环境中高准确度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。

在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力，从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命，使扫描更加低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为准确的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。

Park Hivac 管理器
NX-Hivac 真空自动控制
Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更。

自动化特点
NX-Hivac具有大量功能从而能够减少用户输入。换言之，您可以更快速地扫描，提高实验室产量。

配备电控载物台的StepScan 自动化扫描
StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可很大地提高生产率，减少用户输入。

电动激光对准
Park电动激光对准使用户无需输入即可无缝衔接自动化测量例程。凭借着我们先进的预准直悬臂架，在更换探针时激光已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到位置。

提高精度和生产率
NX-Hivac即是全球准确的高性能原子力显微镜，同时也是用于故障分析的方便的原子力显微镜之一。Park NX-Hivac帮您可以提高自己的生产效率，并确保取得靠谱的结果。

闭环XY和Z轴扫描仪
利用两个独立的闭环XY和Z轴挠曲扫描仪，您可以确信扫描的高度。NX-Hivac提供低残余弯曲的平面和正交XY轴扫描，使得整个扫描范围内的离面运动距离低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色还有非线性为低于0.5%的15 μm扫描范围的高速Z轴扫描仪，无需进行软件后期处理即可获得的二维和三位测量。

低噪声XYZ轴位置传感器
NX-Hivac具有Park原子力显微镜的低噪声Z轴探测器功能，可准确测量样本形貌，同时低噪声XY轴闭环扫描将前后扫描间隙降低至扫描范围的0.15%。

24位数字电子控制器
24-bit-digital-electronics
NX-Hivac的一大特点是NX系列电子控制器可实现时间浪费小化、精度。我们的控制器为全数字、24位高速器件，用户能够利用其执行一系列扫描，包括我们的非接触（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪声设计和高速处理部件，是电压和电流测量及纳米级成像的之选。嵌入式电子产品同时具有数字信号处理特点，用户可轻松地分析测量值和成像。

Park NX-Hivac技术参数

扫描器
Z扫描器
柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)
 
XY扫描器
闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选50 µm × 50 µm)

驱动台
Z位移台行程范围 : 24 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 11 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 22 mm x 22 mm (Motorized)
 
样品架
样品大小: 大尺寸为 50 mm x 50 mm, 厚度大值为 20 mm
样品重量 : < 500 g
 
光学
10倍超长工作距离镜头
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 5 M pixel
 
物理信息内真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm
 
高真空
真空等级: 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用涡轮和干式泵在约5分钟内达到 10-5 torr

软件
SmartScan™
AFM系统控制和数据采集软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的使用和更的扫描控制

XEI
AFM数据分析软件

真空管理器
自动真空控制软件
 
电子
集成功能
4通道灵活的数字锁相放大器
弹簧常数校准（热法，可选）
数字Q控制

外部信号接入
20个嵌入式信号输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF、EOL、EOP、调制和交流偏置
 
AFM模式
(*Optionally available)
标准成像
非接触原子力显微镜
PinPoint™原子力显微镜
接触式原子力显微镜
侧向力原子力显微镜(LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜

力值测试
力距离(F/d)光谱
力体积成像

介电/压电特性
静电力显微镜 (EFM)
动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)
压电响应力显微镜 (PFM)
高压PFM*
 
机械性能
力调制显微镜 (FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*
 
磁学特性*
磁力显微镜(MFM)
   
电学特性
导电原子力显微镜(C-AFM)*
电流-电压分光谱*
开尔文探针力显微镜 (KPFM)
扫描电容显微镜 (SCM)*
扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)*
扫描隧道显微镜 (STM)*